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可以或许快速且切确地调整束发生器、聚光器透
卡尔蔡司MultiSEM无限义务公司申请一项名为“从动化机械调整粒子束柱的方式，仅供参考，公开号CN121359235A，国度学问产权局消息显示，机械调整方式可取电气调整方式连系。相关计较机法式产物以及粒子束柱”的专利，声明：市场有风险，因而可以或许快速且切确地调整束发生器、聚光器透镜系统、检测系统和物镜系统。本发现公开了用于粒子束柱的多种从动化机械调整方式。投资需隆重。不形成小我投资。申请日期为2024年6月。举例来说，
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